半导体废气主要来源于芯片或者是线路板生产的清洗、均胶、去胶、刻蚀、显影过程中。半导体行业废气主要为有机废气和酸碱废气两类。有机类有：非甲烷总烃、氮氧化物、二氧化硫等；酸碱类有：氨气、硫酸雾、氟化物、氯化物、氯气等。采用化学洗涤塔加活性炭吸附催化燃烧等解决方案。